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記事ピックアップ 「高性能圧電薄膜を用いたMEMS超音波撮像システムの開発」 高性能な超音波撮像素子の創出を目指し、高SN比を実現できるc軸配向PZT系単結晶系薄膜のSi基板上への形成技術を開発した。そして、超音波撮像素子としての性能の基礎検討のために、1次元pMUTアレイデバイスを試作した。つぎに、ビームフォーミングシステムを構築し、PDMS製の血管ファントムの断面画像の取得に成功した。また、従来のPZT多結晶膜を用いたときと比較して、高SN比の画像を取得できることを示せた。 この基礎検討では、機械走査によって断面画像を取得したが、アレイとシステムをさらに大規模化すれば、電子走査を実現することは可能である。かつては、血圧計は病院にしかなかったが、今では一家に1台ある。もし、MEMS技術によって、高性能かつ安価な超音波撮像素子が実現できれば、超音波医療診断システムが一家に1台置かれる未来が到来するかもしれない。簡単に血管情報を取得できることから、指紋と血管情報を組み合わせた、より高セキュアな生体認証を実現できる可能性もある。超音波技術や医療の「民主化」によって、われわれの健康はよりよくなっていくことが期待される。 東

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